Deposition of nanocrystalline metal films by cluster beams produced by a Pulsed Arc Cluster Ion Source: Fid-Bau Portal

Deposition of nanocrystalline metal films by cluster beams produced by a Pulsed Arc Cluster Ion Source

Barborini, E. / Piseri, P. / Milani, P. / Iannotta, S.

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Titel:

Deposition of nanocrystalline metal films by cluster beams produced by a Pulsed Arc Cluster Ion Source

Beteiligte:

Barborini, E. (Autor:in) / Piseri, P. (Autor:in) / Milani, P. (Autor:in) / Iannotta, S. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 267-272

Erscheinungsdatum:

01.01.1997

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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