Factorial analysis of cluster-SIMS depth profiling using metal-cluster-complex ion beams: Fid-Bau Portal

Factorial analysis of cluster-SIMS depth profiling using metal-cluster-complex ion beams

Fujiwara, Y. / Kondou, K. / Watanabe, K. / Nonaka, H. / Saito, N. / Fujimoto, T. / Kurokawa, A. / Ichimura, S. / Tomita, M.

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Titel:

Factorial analysis of cluster-SIMS depth profiling using metal-cluster-complex ion beams

Beteiligte:

Fujiwara, Y. (Autor:in) / Kondou, K. (Autor:in) / Watanabe, K. (Autor:in) / Nonaka, H. (Autor:in) / Saito, N. (Autor:in) / Fujimoto, T. (Autor:in) / Kurokawa, A. (Autor:in) / Ichimura, S. (Autor:in) / Tomita, M. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 255 ; 1338-1340

Erscheinungsdatum:

01.01.2008

Format / Umfang:

3 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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