Preparation and properties of reactive-sputtered amorphous CN~x films: Fid-Bau Portal

Preparation and properties of reactive-sputtered amorphous CN~x films

Takada, N. / Arai, K. / Nitta, S. / Nonomura, S.

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Titel:

Preparation and properties of reactive-sputtered amorphous CN~x films

Beteiligte:

Takada, N. (Autor:in) / Arai, K. (Autor:in) / Nitta, S. (Autor:in) / Nonomura, S. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 113/114 ; 274-277

Erscheinungsdatum:

01.01.1997

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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