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    Titel:

    A thermodynamic approach to chemical vapor deposition of boron nitride thin films from borazine

    Beteiligte:

    Kuznetsov, F. A. (Autor:in) / Golubenko, A. N. (Autor:in) / Kosinova, M. L. (Autor:in)

    Erschienen in:

    APPLIED SURFACE SCIENCE ; 113/114 ; 638-641

    Erscheinungsdatum:

    01.01.1997

    Format / Umfang:

    4 pages

    ISSN:

    0169-4332

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.35

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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