Defect characterization in InP substrates implanted with 2 MeV Fe ions: Fid-Bau Portal

Defect characterization in InP substrates implanted with 2 MeV Fe ions

Frigeri, C. / Carnera, A. / Fraboni, B. / Gasparotto, A. / Cassa, A. / Priolo, F. / Camporese, A. / Rossetto, G.

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Titel:

Defect characterization in InP substrates implanted with 2 MeV Fe ions

Beteiligte:

Frigeri, C. (Autor:in) / Carnera, A. (Autor:in) / Fraboni, B. (Autor:in) / Gasparotto, A. (Autor:in) / Cassa, A. (Autor:in) / Priolo, F. (Autor:in) / Camporese, A. (Autor:in) / Rossetto, G. (Autor:in) / Jantz, W. / Baeumler, M.

Erschienen in:

Solid-State Materials for Advanced Technology ; 193-197

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING -LAUSANNE- B ; 44

Erscheinungsdatum:

01.01.1997

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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