Micropipes and polytypism as a source of lateral inhomogeneities in SiC substrates: Fid-Bau Portal

Micropipes and polytypism as a source of lateral inhomogeneities in SiC substrates

Mueller, S. G. / Eckstein, R. / Hofmann, D. / Schmitt, E. / Schoierer, W. / Winnacker, A. / Dorsch, W. / Strunk, H. P.

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Titel:

Micropipes and polytypism as a source of lateral inhomogeneities in SiC substrates

Beteiligte:

Mueller, S. G. (Autor:in) / Eckstein, R. (Autor:in) / Hofmann, D. (Autor:in) / Schmitt, E. (Autor:in) / Schoierer, W. (Autor:in) / Winnacker, A. (Autor:in) / Dorsch, W. (Autor:in) / Strunk, H. P. (Autor:in) / Jantz, W. / Baeumler, M.

Erschienen in:

Solid-State Materials for Advanced Technology ; 392-394

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING -LAUSANNE- B ; 44

Erscheinungsdatum:

01.01.1997

Format / Umfang:

3 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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