Preparation and characterization of BaTiO~3 thin films on MgO-buffered Si(100) substrates by RF sputtering: Fid-Bau Portal

Preparation and characterization of BaTiO~3 thin films on MgO-buffered Si(100) substrates by RF sputtering

Kim, S. / Hishita, S.

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Titel:

Preparation and characterization of BaTiO~3 thin films on MgO-buffered Si(100) substrates by RF sputtering

Beteiligte:

Kim, S. (Autor:in) / Hishita, S. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH -PITTSBURGH- ; 12 ; 1152-1159

Erscheinungsdatum:

01.01.1997

Format / Umfang:

8 pages

ISSN:

0884-2914

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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