Electrical and structural properties of SrTiO~3 thin films deposited by plasma-enhanced metalorganic chemical vapor deposition: Fid-Bau Portal

Electrical and structural properties of SrTiO~3 thin films deposited by plasma-enhanced metalorganic chemical vapor deposition

Kim, N.-K. / Yoon, S.-G. / Lee, W.-J. / Kim, H.-G.

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Titel:

Electrical and structural properties of SrTiO~3 thin films deposited by plasma-enhanced metalorganic chemical vapor deposition

Beteiligte:

Kim, N.-K. (Autor:in) / Yoon, S.-G. (Autor:in) / Lee, W.-J. (Autor:in) / Kim, H.-G. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH -PITTSBURGH- ; 12 ; 1160-1164

Erscheinungsdatum:

01.01.1997

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0884-2914

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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