Microstructure evolution in amorphous Ge/Si multilayers grown by magnetron sputter deposition: Fid-Bau Portal

Microstructure evolution in amorphous Ge/Si multilayers grown by magnetron sputter deposition

Jaerrendahl, K. / Ivanov, I. / Sundgren, J.-E. / Radnoczi, G. / Czigany, Z. / Greene, J. E.

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Titel:

Microstructure evolution in amorphous Ge/Si multilayers grown by magnetron sputter deposition

Beteiligte:

Jaerrendahl, K. (Autor:in) / Ivanov, I. (Autor:in) / Sundgren, J.-E. (Autor:in) / Radnoczi, G. (Autor:in) / Czigany, Z. (Autor:in) / Greene, J. E. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH -PITTSBURGH- ; 12 ; 1806-1815

Erscheinungsdatum:

01.01.1997

Format / Umfang:

10 pages

ISSN:

0884-2914

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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