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Southwell, R. P. / Seebauer, E. G.

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Titel:

Practical processing issues in titanium silicide CVD

Beteiligte:

Southwell, R. P. (Autor:in) / Seebauer, E. G. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 119 ; 41-49

Erscheinungsdatum:

01.01.1997

Format / Umfang:

9 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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