Rapid thermal recrystallization of amorphous silicon films: Fid-Bau Portal

Rapid thermal recrystallization of amorphous silicon films

Beshkov, G. D. / Dimitrov, D. B. / Lazarova, V. / Koprinarova, J. / Gesheva, K. / Vlaev, E.

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Titel:

Rapid thermal recrystallization of amorphous silicon films

Beteiligte:

Beshkov, G. D. (Autor:in) / Dimitrov, D. B. (Autor:in) / Lazarova, V. (Autor:in) / Koprinarova, J. (Autor:in) / Gesheva, K. (Autor:in) / Vlaev, E. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH -PITTSBURGH- ; 12 ; 2511-2514

Erscheinungsdatum:

01.01.1997

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0884-2914

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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