Laser Doping and Recrystallization for Amorphous Silicon Films by Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition: Fid-Bau Portal

Laser Doping and Recrystallization for Amorphous Silicon Films by Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition

Wuu, D. S. / Lien, S. Y. / Wang, J. H. / Mao, H. Y. / Hsieh, I. C. / Wu, B. R. / Yao, P. C.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Laser Doping and Recrystallization for Amorphous Silicon Films by Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition

Wuu, D. S. / Lien, S. Y. / Wang, J. H. / Mao, H. Y. / Hsieh, I. C. / Wu, B. R. / Yao, P. C.

Laser Doping and Recrystallization for Amorphous Silicon Films by Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition

Wuu, D. S. / Lien, S. Y. / Wang, J. H. / Mao, H. Y. / Hsieh, I. C. / Wu, B. R. / Yao, P. C.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Dokumentinformationen

Titel:

Laser Doping and Recrystallization for Amorphous Silicon Films by Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition

Beteiligte:

Wuu, D. S. (Autor:in) / Lien, S. Y. (Autor:in) / Wang, J. H. (Autor:in) / Mao, H. Y. (Autor:in) / Hsieh, I. C. (Autor:in) / Wu, B. R. (Autor:in) / Yao, P. C. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 475/479 ; 3791-3794

Erscheinungsdatum:

01.01.2005

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

Wang, Y. / Lin, J. / Feng, Z. C. et al. | British Library Online Contents | 2000

Transient recrystallization of amorphous silicon films

Viatella, J. / Singh, R. K. | British Library Online Contents | 1997

Photoelectron spectroscopy study of amorphous silicon-carbon alloys deposited by plasma-enhanced chemical vapor deposition

Cicala, G. / Bruno, G. / Capezzuto, P. et al. | British Library Online Contents | 1996

Plasma-enhanced chemical vapor deposition of PbTiO3 thin films

Tong, M. / Dai, G. / Gao, D. | British Library Online Contents | 2000

In Situ S-Doping of Cubic Boron Nitride Thin Films by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition

Yang, H.S. / Kurebayashi, N. / Yoshida, T. | British Library Online Contents | 2010

Nach oben