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    Titel:

    The nature of residues following the ashing of arsenic implanted photoresist

    Beteiligte:

    Draper, C. W. (Autor:in) / Pearce, C. W. (Autor:in) / Glick, J. T. (Autor:in) / Gordon, M. (Autor:in) / Olness, G. E. (Autor:in) / Bernasek, S. L. (Autor:in)

    Erschienen in:

    JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH -PITTSBURGH- ; 12 ; 2799-2808

    Erscheinungsdatum:

    01.01.1997

    Format / Umfang:

    10 pages

    ISSN:

    0884-2914

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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