Materials Issues and Characterization of Low-k Dielectric Materials: Fid-Bau Portal

Materials Issues and Characterization of Low-k Dielectric Materials

Ryan, E. T. / McKerrow, A. J. / Leu, J. / Ho, P. S.

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Titel:

Materials Issues and Characterization of Low-k Dielectric Materials

Beteiligte:

Ryan, E. T. (Autor:in) / McKerrow, A. J. (Autor:in) / Leu, J. (Autor:in) / Ho, P. S. (Autor:in)

Erschienen in:

MRS BULLETIN- MATERIALS RESEARCH SOCIETY ; 22 ; 49-54

Erscheinungsdatum:

01.01.1997

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0883-7694

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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