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    Dokumentinformationen
    Titel:

    Low-k dielectric materials

    Beteiligte:

    Shamiryan, D. (Autor:in) / Abell, T. (Autor:in) / Iacopi, F. (Autor:in) / Maex, K. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MATERIALS TODAY -OXFORD THEN KIDLINGTON- ; 7 ; 34-39

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2004

    Format / Umfang:

    6 pages

    ISSN:

    1369-7021

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11299

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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