Influence of ion energy on the surface morphology of tetrahedral amorphous carbon films: Fid-Bau Portal

Influence of ion energy on the surface morphology of tetrahedral amorphous carbon films

Chen, Z. Y. / Zhao, J. P. / Yu, Y. H. / Wang, X. / Yang, S. Q. / Shi, T. S. / Liu, X. H. / Luo, E. Z. / Xu, J. B. / Wilson, I. H.

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Chen, Z. Y. / Zhao, J. P. / Yu, Y. H. / Wang, X. / Yang, S. Q. / Shi, T. S. / Liu, X. H. / Luo, E. Z. / Xu, J. B. / Wilson, I. H.

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Chen, Z. Y. / Zhao, J. P. / Yu, Y. H. / Wang, X. / Yang, S. Q. / Shi, T. S. / Liu, X. H. / Luo, E. Z. / Xu, J. B. / Wilson, I. H.

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Titel:

Influence of ion energy on the surface morphology of tetrahedral amorphous carbon films

Beteiligte:

Chen, Z. Y. (Autor:in) / Zhao, J. P. (Autor:in) / Yu, Y. H. (Autor:in) / Wang, X. (Autor:in) / Yang, S. Q. (Autor:in) / Shi, T. S. (Autor:in) / Liu, X. H. (Autor:in) / Luo, E. Z. (Autor:in) / Xu, J. B. (Autor:in) / Wilson, I. H. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE LETTERS ; 17 ; 335-338

Erscheinungsdatum:

01.01.1998

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0261-8028

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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