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    Dokumentinformationen
    Titel:

    Formation of Tungsten Ohmic Contact on n-Type 6H-SiC by Pulsed Laser Processes

    Beteiligte:

    Nakashima, K. (Autor:in) / Eryu, O. (Autor:in) / Kume, T. (Autor:in) / Nakata, T. (Autor:in) / Inoue, M. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MATERIALS SCIENCE FORUM ; 264/268 ; 779-782

    Erscheinungsdatum:

    01.01.1998

    Format / Umfang:

    4 pages

    ISSN:

    0255-5476

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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