Growth and Characterization of SiC Films on Large-Area Si Wafers by APCVD

Growth and Characterization of SiC Films on Large-Area Si Wafers by APCVD - Temperature Dependence

Wu, C.-H. / Fleischman, A. J. / Zorman, C. A. / Mehregany, M.

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Titel:

Growth and Characterization of SiC Films on Large-Area Si Wafers by APCVD - Temperature Dependence

Beteiligte:

Wu, C.-H. (Autor:in) / Fleischman, A. J. (Autor:in) / Zorman, C. A. (Autor:in) / Mehregany, M. (Autor:in) / Pensl, G. / Morkoc, H. / Monemar, B. / Janzen, E.

Erschienen in:

Silicon Carbide, III-Nitrides and Related Materials ; 179-182

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 264/268

Erscheinungsdatum:

01.01.1998

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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