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Copper in silicon: quantitative analysis of internal and proximity gettering

McHugo, S. A. / Heiser, T. / Hieslmair, H. / Flink, C. / Weber, E. R. / Myers, S. M. / Petersen, G. A.

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Titel:

Copper in silicon: quantitative analysis of internal and proximity gettering

Beteiligte:

McHugo, S. A. (Autor:in) / Heiser, T. (Autor:in) / Hieslmair, H. (Autor:in) / Flink, C. (Autor:in) / Weber, E. R. (Autor:in) / Myers, S. M. (Autor:in) / Petersen, G. A. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 258/263 ; 461-466

Erscheinungsdatum:

01.01.1997

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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