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Electric force microscopy as a probe of active and passive elements of integrated circuits

Karpov, I. / Belcher, R. W. / Linn, J. H.

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Titel:

Electric force microscopy as a probe of active and passive elements of integrated circuits

Beteiligte:

Karpov, I. (Autor:in) / Belcher, R. W. (Autor:in) / Linn, J. H. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 125 ; 332-338

Erscheinungsdatum:

01.01.1998

Format / Umfang:

7 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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