High concentration B~1 delta-doping layers on Si(001): Fid-Bau Portal

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High concentration B~1 delta-doping layers on Si(001)

Falta, J. / Mielmann, O. / Schmidt, T. / Hille, A. / Sanchez-Hanke, C. / Sonntag, P. / Materlik, G. / Meyer zu Heringdorf, F. / Kammler, M. / Horn von Hoegen, M.

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Titel:

High concentration B~1 delta-doping layers on Si(001)

Beteiligte:

Falta, J. (Autor:in) / Mielmann, O. (Autor:in) / Schmidt, T. (Autor:in) / Hille, A. (Autor:in) / Sanchez-Hanke, C. (Autor:in) / Sonntag, P. (Autor:in) / Materlik, G. (Autor:in) / Meyer zu Heringdorf, F. (Autor:in) / Kammler, M. (Autor:in) / Horn von Hoegen, M. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 123/124 ; 538-541

Erscheinungsdatum:

01.01.1998

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Print

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

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