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    Titel:

    Thickness of Ta~2O~5 thin-films deposited by a new pulsed laser deposition technique

    Beteiligte:

    Inoue, N. (Autor:in) / Monnaka, T. (Autor:in) / Kashiwabara, S. (Autor:in) / Fujimoto, R. (Autor:in)

    Erschienen in:

    APPLIED SURFACE SCIENCE ; 127-129 ; 536-539

    Erscheinungsdatum:

    01.01.1998

    Format / Umfang:

    4 pages

    ISSN:

    0169-4332

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.35

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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