Nitride-molecule synthesis in plasma produced by reactive laser ablation assisted by RF discharge for thin-film deposition: Fid-Bau Portal

Nitride-molecule synthesis in plasma produced by reactive laser ablation assisted by RF discharge for thin-film deposition

Vivien, C. / Dinescu, M. / Meheust, P. / Boulmer-Leborgne, C. / Caricato, A. P. / Perriere, J.

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Titel:

Nitride-molecule synthesis in plasma produced by reactive laser ablation assisted by RF discharge for thin-film deposition

Beteiligte:

Vivien, C. (Autor:in) / Dinescu, M. (Autor:in) / Meheust, P. (Autor:in) / Boulmer-Leborgne, C. (Autor:in) / Caricato, A. P. (Autor:in) / Perriere, J. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 127-129 ; 668-673

Erscheinungsdatum:

01.01.1998

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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