Precision laser-based decontamination of microcavities: Fid-Bau Portal

Precision laser-based decontamination of microcavities

Durbin, S. M. / Deshmukh, A. V. / Brooks, T. D. / Van de Burgt, L. J.

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Titel:

Precision laser-based decontamination of microcavities

Beteiligte:

Durbin, S. M. (Autor:in) / Deshmukh, A. V. (Autor:in) / Brooks, T. D. (Autor:in) / Van de Burgt, L. J. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 127-129 ; 810-814

Erscheinungsdatum:

01.01.1998

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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