GaN microcavities formed by laser lift-off and plasma etching: Fid-Bau Portal

GaN microcavities formed by laser lift-off and plasma etching

Martin, R. W. / Kim, H. S. / Cho, Y. / Edwards, P. R. / Watson, I. M. / Sands, T. / Cheung, N. W. / Dawson, M. D.

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Titel:

GaN microcavities formed by laser lift-off and plasma etching

Beteiligte:

Martin, R. W. (Autor:in) / Kim, H. S. (Autor:in) / Cho, Y. (Autor:in) / Edwards, P. R. (Autor:in) / Watson, I. M. (Autor:in) / Sands, T. (Autor:in) / Cheung, N. W. (Autor:in) / Dawson, M. D. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B -LAUSANNE- ; 93 ; 98 - 101

Erscheinungsdatum:

01.01.2002

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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