Synthesis of silicon-based polymer films by UV laser ablation deposition of poly(methylphenylsilane): Fid-Bau Portal

Synthesis of silicon-based polymer films by UV laser ablation deposition of poly(methylphenylsilane)

Suzuki, M. / Nakata, Y. / Nagai, H. / Goto, K. / Nishimura, O. / Okutani, T.

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Titel:

Synthesis of silicon-based polymer films by UV laser ablation deposition of poly(methylphenylsilane)

Beteiligte:

Suzuki, M. (Autor:in) / Nakata, Y. (Autor:in) / Nagai, H. (Autor:in) / Goto, K. (Autor:in) / Nishimura, O. (Autor:in) / Okutani, T. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING -LAUSANNE- A ; 246 ; 36-44

Erscheinungsdatum:

01.01.1998

Format / Umfang:

9 pages

ISSN:

0921-5093

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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