Synthesis of silicon-based polymerized films by excimer laser ablation deposition of hexaphenyldisilane: Fid-Bau Portal

Synthesis of silicon-based polymerized films by excimer laser ablation deposition of hexaphenyldisilane

Zeng, X. / Rossignol, F. / Konno, S. / Nagai, H. / Nakata, Y. / Okutani, T. / Suzuki, M.

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Titel:

Synthesis of silicon-based polymerized films by excimer laser ablation deposition of hexaphenyldisilane

Beteiligte:

Zeng, X. (Autor:in) / Rossignol, F. (Autor:in) / Konno, S. (Autor:in) / Nagai, H. (Autor:in) / Nakata, Y. (Autor:in) / Okutani, T. (Autor:in) / Suzuki, M. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH -PITTSBURGH- ; 14 ; 232-245

Erscheinungsdatum:

01.01.1999

Format / Umfang:

14 pages

ISSN:

0884-2914

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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