Texture evolution in Si/SiC layered structures deposited on Si(001) by chemical vapor deposition: Fid-Bau Portal

Texture evolution in Si/SiC layered structures deposited on Si(001) by chemical vapor deposition

Bjoerketun, L.-O. / Hultman, L. / Kordina, O. / Sundgren, J.-E.

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Titel:

Texture evolution in Si/SiC layered structures deposited on Si(001) by chemical vapor deposition

Beteiligte:

Bjoerketun, L.-O. (Autor:in) / Hultman, L. (Autor:in) / Kordina, O. (Autor:in) / Sundgren, J.-E. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH -PITTSBURGH- ; 13 ; 2632-2642

Erscheinungsdatum:

01.01.1998

Format / Umfang:

11 pages

ISSN:

0884-2914

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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