Preparation and Characterization of Phosphorus-Doped Aluminum Oxide Thin Films: Fid-Bau Portal

Preparation and Characterization of Phosphorus-Doped Aluminum Oxide Thin Films

Tiitta, M. / Nykaenen, E. / Soininen, P. / Niinistoe, L. / Leskelae, M. / Lappalainen, R.

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Titel:

Preparation and Characterization of Phosphorus-Doped Aluminum Oxide Thin Films

Beteiligte:

Tiitta, M. (Autor:in) / Nykaenen, E. (Autor:in) / Soininen, P. (Autor:in) / Niinistoe, L. (Autor:in) / Leskelae, M. (Autor:in) / Lappalainen, R. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS RESEARCH BULLETIN ; 33 ; 1315-1324

Erscheinungsdatum:

01.01.1998

Format / Umfang:

10 pages

ISSN:

0025-5408

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11 / 620

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