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Local Coating Conditions in RF-Magnetron Sputtering

Berg, G. / Friedrich, C. / Senf, J. / Broszeit, E. / Kloos, K.-H.

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Titel:

Local Coating Conditions in RF-Magnetron Sputtering

Beteiligte:

Berg, G. (Autor:in) / Friedrich, C. (Autor:in) / Senf, J. (Autor:in) / Broszeit, E. (Autor:in) / Kloos, K.-H. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALWISSENSCHAFT UND WERKSTOFFTECHNIK ; 29 ; 452-458

Erscheinungsdatum:

01.01.1998

Format / Umfang:

7 pages

ISSN:

0933-5137

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Deutsch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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