Structural morphology and characterization of (AlCrMoTaTi)N coating deposited via magnetron sputtering: Fid-Bau Portal

Structural morphology and characterization of (AlCrMoTaTi)N coating deposited via magnetron sputtering

Tsai, D. C. / Chang, Z. C. / Kuo, B. H. / Shiao, M. H. / Chang, S. Y. / Shieu, F. S.

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Titel:

Structural morphology and characterization of (AlCrMoTaTi)N coating deposited via magnetron sputtering

Beteiligte:

Tsai, D. C. (Autor:in) / Chang, Z. C. (Autor:in) / Kuo, B. H. (Autor:in) / Shiao, M. H. (Autor:in) / Chang, S. Y. (Autor:in) / Shieu, F. S. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 282 ; 789-797

Erscheinungsdatum:

01.01.2013

Format / Umfang:

9 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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