Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
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New Olefinic Interlevel Dielectric Materials for Microelectronics
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Grove, N. R. (Autor:in) / Zhao, Q. (Autor:in) / Kohl, P. A. (Autor:in) / Bidstrup-Allen, S. A. (Autor:in) / Shick, R. A. (Autor:in) / Goodall, B. L. (Autor:in) / McIntosh, L. H. (Autor:in) / Jayaraman, S. (Autor:in)
ADVANCING MICROELECTRONICS ; 23 ; 16-18
01.01.1996
3 pages
Aufsatz (Zeitschrift)
Englisch
DDC:
621.381
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