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Titel:

Fluorocarbon Process Gases in Microelectronics

Beteiligte:

Allgood, C. C. (Autor:in)

Erschienen in:

ADVANCED MATERIALS -DEERFIELD BEACH- ; 10 ; 1239-1242

Erscheinungsdatum:

01.01.1998

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0935-9648

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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