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Shallow junction doping technologies for ULSI

Jones, E. C. / Ishida, E.

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Titel:

Shallow junction doping technologies for ULSI

Beteiligte:

Jones, E. C. (Autor:in) / Ishida, E. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING -LAUSANNE- R REPORTS- ; 24 ; 1-80

Erscheinungsdatum:

01.01.1998

Format / Umfang:

80 pages

ISSN:

0927-796X

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.1 / 530

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