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    Titel:

    A novel atomic doping technology for ultra-shallow junction of SOI-MOSFETs

    Beteiligte:

    Koh, K. W. (Autor:in) / Oh, H. J. (Autor:in) / Choi, H. (Autor:in) / Kurino, H. (Autor:in) / Koyanagi, M. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B -LAUSANNE- ; 89 ; 435 - 438

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2002

    Format / Umfang:

    4 pages

    ISSN:

    0921-5107

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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