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Thin film deposition: fundamentals and modeling

Gilmer, G. H. / Huang, H. / De la Rubia, T. D. / Roland, C.

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Titel:

Thin film deposition: fundamentals and modeling

Beteiligte:

Gilmer, G. H. (Autor:in) / Huang, H. (Autor:in) / De la Rubia, T. D. (Autor:in) / Roland, C. (Autor:in) / De la Rubia, T. D.

Erschienen in:

Modelling and Simulation in Semiconductor Processing ; 354-380

COMPUTATIONAL MATERIALS SCIENCE ; 12

Erscheinungsdatum:

01.01.1998

Format / Umfang:

27 pages

ISSN:

0927-0256

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.1 / 510

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