Multiscale Modeling of Thin-Film Deposition: Applications to Si Device Processing: Fid-Bau Portal

Multiscale Modeling of Thin-Film Deposition: Applications to Si Device Processing

Baumann, F. H. / Chopp, D. L. / de le Rubia, T. D. / Gilmer, G. H. / Greene, J. E. / Huang, H. / Kodambaka, S. / O Sullivan, P. / Petrov, I.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Multiscale Modeling of Thin-Film Deposition: Applications to Si Device Processing

Baumann, F. H. / Chopp, D. L. / de le Rubia, T. D. / Gilmer, G. H. / Greene, J. E. / Huang, H. / Kodambaka, S. / O Sullivan, P. / Petrov, I.

Multiscale Modeling of Thin-Film Deposition: Applications to Si Device Processing

Baumann, F. H. / Chopp, D. L. / de le Rubia, T. D. / Gilmer, G. H. / Greene, J. E. / Huang, H. / Kodambaka, S. / O Sullivan, P. / Petrov, I.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Dokumentinformationen

Titel:

Multiscale Modeling of Thin-Film Deposition: Applications to Si Device Processing

Beteiligte:

Baumann, F. H. (Autor:in) / Chopp, D. L. (Autor:in) / de le Rubia, T. D. (Autor:in) / Gilmer, G. H. (Autor:in) / Greene, J. E. (Autor:in) / Huang, H. (Autor:in) / Kodambaka, S. (Autor:in) / O Sullivan, P. (Autor:in) / Petrov, I. (Autor:in)

Erschienen in:

MRS BULLETIN- MATERIALS RESEARCH SOCIETY ; 26 ; 182-190

Erscheinungsdatum:

01.01.2001

Format / Umfang:

9 pages

ISSN:

0883-7694

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

Gilmer, G. H. / Huang, H. / De la Rubia, T. D. et al. | British Library Online Contents | 1998

Multiscale approaches for metal thin film growth

Vogl, P. / Hansen, U. / Fiorentini, V. | British Library Online Contents | 2002

Multiscale simulation of nanoindentation on Ni (100) thin film

Wang, C. T. / Jian, S. R. / Jang, J. S. et al. | British Library Online Contents | 2008

Multiscale Modeling in Chemical Vapor Deposition Processes: Models and Methodologies

Cheimarios, N. / Kokkoris, G. / Boudouvis, A. G. | Online Contents | 2020

Multiscale Modeling in Chemical Vapor Deposition Processes: Models and Methodologies

Cheimarios, N. / Kokkoris, G. / Boudouvis, A. G. | Springer Verlag | 2021

Nach oben