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Preparation of microcrystalline diamond in a low pressure inductively coupled plasma

Okada, K. / Komatsu, S. / Matsumoto, S.

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Titel:

Preparation of microcrystalline diamond in a low pressure inductively coupled plasma

Beteiligte:

Okada, K. (Autor:in) / Komatsu, S. (Autor:in) / Matsumoto, S. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH -PITTSBURGH- ; 14 ; 578-583

Erscheinungsdatum:

01.01.1999

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0884-2914

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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