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    Titel:

    Comparison of (hexafluoroacetylacetonate)Cu(vinyltrimethyl-silane) and (hexafluoroacetylacetonate)Cu(allyltrimethylsilane) for metalorganic chemical vapor deposition of copper

    Beteiligte:

    Park, M.-Y. (Autor:in) / Son, J.-H. (Autor:in) / Kang, S.-W. (Autor:in) / Rhee, S.-W. (Autor:in)

    Erschienen in:

    JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH -PITTSBURGH- ; 14 ; 975-979

    Erscheinungsdatum:

    01.01.1999

    Format / Umfang:

    5 pages

    ISSN:

    0884-2914

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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