Thermal behaviour of Co/Si/W/Si multilayers under high intensity excimer laser pulses: Fid-Bau Portal

Thermal behaviour of Co/Si/W/Si multilayers under high intensity excimer laser pulses

Majkova, E. / Luby, S. / Anopchenko, A. / Jergel, M. / Luches, A. / Martino, M. / Mengucci, P. / Majni, G.

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Titel:

Thermal behaviour of Co/Si/W/Si multilayers under high intensity excimer laser pulses

Beteiligte:

Majkova, E. (Autor:in) / Luby, S. (Autor:in) / Anopchenko, A. (Autor:in) / Jergel, M. (Autor:in) / Luches, A. (Autor:in) / Martino, M. (Autor:in) / Mengucci, P. (Autor:in) / Majni, G. (Autor:in) / Boyd, I. W. / Perriere, J.

Erschienen in:

Proceedings of Symposium G on Surface Processing: Laser, Lamp, Plasma of the 1998 E-MRS Spring Conference - Strasbourg, France, June 16-1998 ; 477-481

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 138/139

Erscheinungsdatum:

01.01.1999

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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