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Deposition of SiC and AIN thin films by laser ablation

Meinschien, J. / Falk, F. / Hoberr, H. / Stafast, H.

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Titel:

Deposition of SiC and AIN thin films by laser ablation

Beteiligte:

Meinschien, J. (Autor:in) / Falk, F. (Autor:in) / Hoberr, H. (Autor:in) / Stafast, H. (Autor:in) / Boyd, I. W. / Perriere, J. / Stuke, M.

Erschienen in:

Proceedings of Symposium G on Surface Processing: Laser, Lamp, Plasma of the 1998 E-MRS Spring Conference - Strasbourg, France, June 16-1998 ; 543-548

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 138/139

Erscheinungsdatum:

01.01.1999

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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