Low energy argon ion-enhanced removal of carbon from silicon dioxide surfaces with atomic deuterium: Fid-Bau Portal

Low energy argon ion-enhanced removal of carbon from silicon dioxide surfaces with atomic deuterium

Sampson, G.M. / White, J.M. / Ekerdt, J.G.

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Titel:

Low energy argon ion-enhanced removal of carbon from silicon dioxide surfaces with atomic deuterium

Beteiligte:

Sampson, G.M. (Autor:in) / White, J.M. (Autor:in) / Ekerdt, J.G. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 143 ; 30-38

Erscheinungsdatum:

01.01.1999

Format / Umfang:

9 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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