Deposition, structure, and hardness of polycrystalline transition-metal nitride superlattice films: Fid-Bau Portal

Deposition, structure, and hardness of polycrystalline transition-metal nitride superlattice films

Chu, X. / Wong, M. S. / Sproul, W. D. / Barnett, S. A.

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Titel:

Deposition, structure, and hardness of polycrystalline transition-metal nitride superlattice films

Beteiligte:

Chu, X. (Autor:in) / Wong, M. S. (Autor:in) / Sproul, W. D. (Autor:in) / Barnett, S. A. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH -PITTSBURGH- ; 14 ; 2500-2507

Erscheinungsdatum:

01.01.1999

Format / Umfang:

8 pages

ISSN:

0884-2914

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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