Zirconium nitride polycrystalline films grown on Si (111) substrates by metal organic chemical vapor deposition: Fid-Bau Portal

Zirconium nitride polycrystalline films grown on Si (111) substrates by metal organic chemical vapor deposition

Jin, J. / Ko, K. B. / Song, H. s. / Cuong, T. V. / Hong, C. H.

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Titel:

Zirconium nitride polycrystalline films grown on Si (111) substrates by metal organic chemical vapor deposition

Beteiligte:

Jin, J. (Autor:in) / Ko, K. B. (Autor:in) / Song, H. s. (Autor:in) / Cuong, T. V. (Autor:in) / Hong, C. H. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS LETTERS ; 125 ; 8-11

Erscheinungsdatum:

01.01.2014

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0167-577X

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.1105 / 530

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