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    Dokumentinformationen
    Titel:

    Preparation on ZnO Film by Atomic Layer Deposition

    Beteiligte:

    Kobayashi, K. (Autor:in) / Okudaira, S. (Autor:in) / Ishida, Y. (Autor:in) / Mizutani, N. / Shinozaki, K. / Kamehara, N. / Kimura, T.

    Erschienen in:

    Electroceramics in Japan II: The 18th Electronics Division Meeting of the Ceramic Society of Japan, Kawasaki, Japan, October 1998 ; 159-162

    KEY ENGINEERING MATERIALS

    Erscheinungsdatum:

    01.01.1999

    Format / Umfang:

    4 pages

    ISSN:

    1013-9826

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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