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    Titel:

    Characteristics of ZnO Thin Film by Atomic Layer Deposition for Film Bulk Acoustic Resonator

    Beteiligte:

    Kim, S. G. (Autor:in) / Jung, S. B. (Autor:in) / Oh, J. H. (Autor:in) / Kim, H. J. (Autor:in) / Shin, Y. H. (Autor:in) / Kang, S.-G. / Kobayashi, T.

    Erschienen in:

    Designing, Processing and Properties of Advanced Engineering Materials PART 2 ; 977-980

    MATERIALS SCIENCE FORUM ; 449/452

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2004

    Format / Umfang:

    4 pages

    ISSN:

    0255-5476

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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