Modeling analysis of gas phase nucleation in silicon carbide chemical vapor deposition: Fid-Bau Portal

Modeling analysis of gas phase nucleation in silicon carbide chemical vapor deposition

Vorob'ev, A.N. / Komissarov, A.E. / Segal, A.S. / Makarov, Y.N. / Karpov, S.Y. / Zhmakin, A.I. / Rupp, R.

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Titel:

Modeling analysis of gas phase nucleation in silicon carbide chemical vapor deposition

Beteiligte:

Vorob'ev, A.N. (Autor:in) / Komissarov, A.E. (Autor:in) / Segal, A.S. (Autor:in) / Makarov, Y.N. (Autor:in) / Karpov, S.Y. (Autor:in) / Zhmakin, A.I. (Autor:in) / Rupp, R. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING -LAUSANNE- B ; 61-62 ; 176 - 178

Erscheinungsdatum:

01.01.1999

Format / Umfang:

3 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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