Modeling of silicon carbide chemical vapor deposition in a vertical reactor: Fid-Bau Portal

Modeling of silicon carbide chemical vapor deposition in a vertical reactor

Vorob'ev, A.N. / Egorov, Y.E. / Makarov, Y.N. / Zhmakin, A.I. / Galyukov, A.O. / Rupp, R.

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Titel:

Modeling of silicon carbide chemical vapor deposition in a vertical reactor

Beteiligte:

Vorob'ev, A.N. (Autor:in) / Egorov, Y.E. (Autor:in) / Makarov, Y.N. (Autor:in) / Zhmakin, A.I. (Autor:in) / Galyukov, A.O. (Autor:in) / Rupp, R. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING -LAUSANNE- B ; 61-62 ; 172 - 175

Erscheinungsdatum:

01.01.1999

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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