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    Dokumentinformationen
    Titel:

    High temperature piezoresistive @b-SiC-on-SOI pressure sensor with on chip SiC thermistor

    Beteiligte:

    Ziermann, R. (Autor:in) / von Berg, J. (Autor:in) / Obermeier, E. (Autor:in) / Wischmeyer, F. (Autor:in) / Niemann, E. (Autor:in) / Moller, H. (Autor:in) / Eickhoff, M. (Autor:in) / Krotz, G. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING -LAUSANNE- B ; 61-62 ; 576 - 578

    Erscheinungsdatum:

    01.01.1999

    Format / Umfang:

    3 pages

    ISSN:

    0921-5107

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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