Preparation of (001)-oriented PZT thick films on silicon wafer by pulsed laser deposition: Fid-Bau Portal

Preparation of (001)-oriented PZT thick films on silicon wafer by pulsed laser deposition

Liu, J.-M. / Xu, S.Y. / Zhou, W.Z. / Jiang, X.H. / Ong, C.K. / Lim, L.C.

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Titel:

Preparation of (001)-oriented PZT thick films on silicon wafer by pulsed laser deposition

Beteiligte:

Liu, J.-M. (Autor:in) / Xu, S.Y. (Autor:in) / Zhou, W.Z. (Autor:in) / Jiang, X.H. (Autor:in) / Ong, C.K. (Autor:in) / Lim, L.C. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING -LAUSANNE- A ; 269 ; 67 - 72

Erscheinungsdatum:

01.01.1999

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0921-5093

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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